Nebilizatör ya da soğuk buhar cihazı laboratuar dışında hemen hemen tüm birimlerde bulunur. HICO (Ultrasonat 806E) ve KARUZEL (Ultranem 2000) markaları altında ğretilmektedir. Bakteri filtresi, su haznesi , ayar potu , quartz kristal taşlar ve hortumdan oluşur. Soğuk buhar yaratarak hastanın solunumunu ve akciğerlerini rahatlatmaya yarar. Filtresi su haznesindeki suda bulunan bakterileri süzerek oluşan buharın saf bir şekilde hastaya gönderilmesini sağlar. Quartz taşları düşük sıcaklıkta titreşme özelliğine sahiptir ve bu taşlar su haznesindeki su moleküllerini buharlaşacak şekilde titreştirir. Böylece ortaya çıkan buhar hortuma iletilir ve oradan da hastanın solunum yoluna hava ile katılır. Ayar potu sayesinde de buhar miktarı ayarlanabilir. Bu cihazın yaratabileceği en genel sorun quartz taşlarının ve bakteri filtresinin eskimesidir. Böyle durumlarda taşlar ve filtre yenileriyle değiştirilir. Düşme ve darbeden kaynaklanan elektronik aksaklıklar, uzun kullanımlarda ayar potunun bozulup değiştirilmesi durumları ortaya çıkabilir.
